紫外激光器主要有三种。
　　第一种是固态、调Q Nd：YAG激光器；其中特殊的晶体被用来把红外1064 nm波长的光转变成紫外335 nm波长的光。光束形状是高斯型，所以光斑是圆形的，能量从中心到边缘逐渐下降。由于短波长和光束质量限制，光束可以聚焦的大小在10 μm量级。大体上，像全固化激光器一样，紫外激光器对温度变化是很敏感的，在冷启动后，需要长达30分钟来达到足够的稳定性。因此，这些激光器通常有特殊的待机条件，这样所有关键的元件保持在工作温度。高重复频率和小的聚焦光斑，开始应用在小尺寸、高质量的加工范围。